基于碳纳米管阵列敏感结构的压阻特性研究

项目名称： 基于碳纳米管阵列敏感结构的压阻特性研究

项目编号： No.50875139

项目类型： 面上项目

立项/批准年度： 2009

项目学科： 金属学与金属工艺

项目作者： 杨兴

作者单位： 清华大学

项目金额： 33万元

中文摘要： 针对目前单根碳纳米管压阻传感器件制造难度大、信号微弱等问题，本项目提出一种基于碳纳米管阵列的压阻敏感结构。由于阵列中的纳米管具有良好的取向并可通过筛选保留压阻因子较高的半导体型纳米管，因此所提出的碳纳米管阵列式敏感结构具有高压阻敏感性和制造工艺简单的优点。 本项目将微传感结构和纳米材料有机地结合起来，研究基于碳纳米管阵列敏感结构的压阻特性的技术基础和相关理论，包括由碳纳米管阵列和微电极组成的微纳敏感结构的压阻特性模型及结构设计、微纳敏感结构的制造工艺、微纳敏感结构的表征、压阻特性测试方法及实验研究等，为碳纳米管阵列式压阻传感器的应用研究提供一定的理论和技术基础。

中文关键词： 碳纳米管阵列；压阻特性；纳传感器；微/纳机电系统

英文摘要：

英文关键词：