可控等离子体辅助纳米制造的理论和实验基础研究

项目名称： 可控等离子体辅助纳米制造的理论和实验基础研究

项目编号： No.90923005

项目类型： 专项基金项目

立项/批准年度： 2010

项目学科： 武器工业

项目作者： 钟晓霞

作者单位： 上海交通大学

项目金额： 50万元

中文摘要： 实现可控纳米制造是纳米制造领域面临的重要问题。等离子体辅助纳米制造是实现可控纳米制造的重要选项。本项目拟以碳基纳米尖、半导体量子点为对象，从理论模拟和实验探索两方面研究等离子体环境中纳米构造基元的形成和输运、纳米结构单元的自组织生长、纳米结构材料的制备。探讨等离子体密度、电子温度等等离子体参量和衬底温度、衬底偏压等衬底条件，对纳米结构单元的形貌、尺寸、化学结构、组织结构和在纳米图案中分布密度、分布均匀性的影响。在建立物理模型和数值计算模型、开发程序模块、改进现有模拟软件的基础上，运用多尺度混合模拟方法，将等离子体环境中原子、离子、分子、团簇等纳米构造基元的形成、输运和纳米结构单元的自组织生长关联起来进行研究；并开展若干碳基纳米尖材料和半导体量子点材料的制备尝试。通过理论模拟和实验演示，探索用等离子体控制纳米制造的机理和实现可控纳米制造的可能性，为等离子体辅助纳米制造提供理论参考和实验基础。

中文关键词： 纳米制造；等离子体；自组织生长；；

英文摘要：

英文关键词： nanofabrication；plasma；self-assembly growth；；