多层薄膜表面飞秒激光微纳加工动态调控机理及方法研究

项目名称： 多层薄膜表面飞秒激光微纳加工动态调控机理及方法研究

项目编号： No.51405181

项目类型： 青年科学基金项目

立项/批准年度： 2014

项目学科： 机械、仪表工业

项目作者： 袁冬青

作者单位： 淮海工学院

项目金额： 25万元

中文摘要： 针对目前飞秒激光微加工多层薄膜的实时检测及调控的问题：本项目基于单脉冲及双脉冲激发系统的建立，实现加工过程中检测谱线的稳定获取；模拟超短单脉冲及双脉冲条件下等离子的激发及扩散，研究飞秒等离子体产生特性及双脉冲增强的机理，确定微加工过程中LIBS检测的特征参数，优化激发系统；通过对激发特征谱线强度的标准化，以及对单脉冲消融深度和脉冲个数与特征谱线强度之间关系的研究，建立谱线强度信号与消融深度的关系，实现加工过程的深度检测。基于两种谱线识别算法，实现快速识别激光加工的材料，开发激光能量控制程序，实现激光微加工的实时调控，保证激光微加工的连贯性及高效率，实现飞秒激光微加工薄膜太阳能电池的实时调控。

中文关键词： 激光加工；在线检测；自吸收系数；光学模组；重叠率

英文摘要： Based on the problem of real-time control of the femtosecond laser processing of multilayer film, this project establish the excitation system of single and double pulse , and to obtain the processing spectroscopy in steady. Simulate the blaze and diffuse

英文关键词： laser machining；on line detection；self absorption；optical modul；overlap rate