多路并行激光直写光栅装置

项目名称： 多路并行激光直写光栅装置

项目编号： No.61127013

项目类型： 专项基金项目

立项/批准年度： 2012

项目学科： 信息四处

项目作者： 周常河

作者单位： 中国科学院上海光学精密机械研究所

项目金额： 280万元

中文摘要： 高精度的光栅是微纳光学的关键器件，在天文卫星摄谱仪、光通讯以及激光聚变工程等领域有重要的国家需求，国家关于大面积、高精度光栅的研制任务，然而无论是采用传统方法诸如机械刻划还是全息曝光的方式，都无法有效突破大面积光栅研制的瓶颈。 本项目的目标是将达曼光栅引入到传统的单光路激光直写系统中，通过设计合理的滤波装置和转接光学系统，实现高精度的激光多路并行激光直写。 这套装置包括激光器，达曼光栅，高频率调制声光调制器，自聚焦模块，高数值孔径显微物镜以及高精度移动平台等，通过计算机控制声光调制器和高精度平台，采用单个显微物镜，实现多路并行直写，再通过干法刻蚀装置，加工大面积、高精度光栅。本项目主要解决这套装置的大面积光栅研制中的关键基础性科学技术问题，使我国在微纳光学，纳米光刻等研究领域取得突破性进展，推动相关产业的发展。

中文关键词： 衍射光栅；激光直写；达曼光栅；石英光栅；

英文摘要：

英文关键词： Diffraction grating；Laser Direct Writing；Dammann grating；Fused silica grating；