表面等离激元增强型非极性面AlGaN基深紫外LED器件的基础研究

项目名称： 表面等离激元增强型非极性面AlGaN基深紫外LED器件的基础研究

项目编号： No.61377034

项目类型： 面上项目

立项/批准年度： 2013

项目学科： 无线电电子学、电信技术

项目作者： 吴志浩

作者单位： 华中科技大学

项目金额： 80万元

中文摘要： 为了消除传统c面AlGaN基深紫外LED中强极化电场对内量子效率和发光偏振性对出光效率的致命影响，以及发挥表面等离激元（SP）发光增强效应在提高发光器件效率方面的潜在优势，本项目拟在非极性面AlGaN基深紫外LED的外延生长基础上，利用纳米金属结构的SP与量子阱发光的相互耦合作用来提高深紫外LED的外量子效率。 设计出满足SP耦合发光增强要求而又不会对器件性能有较大损害的非极性面AlGaN基深紫外LED外延结构，并利用MOCVD生长技术在r面蓝宝石衬底上完成外延生长。然后采用纳米球刻蚀技术制备尺寸均匀、周期分布的纳米金属结构，获得SP共振频率在深紫外波段、单一性好且出射光子效率高的纳米金属结构。深入研究纳米金属颗结构SP的物理性质，及其与非极性面AlGaN基深紫外LED量子阱发光的耦合机理。完善器件制备工艺，最终研制出具有一定实用价值的SP增强型非极性面AlGaN基深紫外LED器件。

中文关键词： 铝镓氮；非极性面；发光二极管；表面等离激元；

英文摘要： The present project will develop surface plasmon enhanced non-polar AlGaN-based Deep UV LEDs, aimed to eliminate the negative effects of strong polarization fields on the internal quantum efficiency and of the luminescence polarization on the light extrac

英文关键词： AlGaN；Nonpolar；light emitting diode；surface plasmon resonance；