大气压均匀介质阻挡放电等离子体辅助高能球磨制备AlN的机理研究

项目名称： 大气压均匀介质阻挡放电等离子体辅助高能球磨制备AlN的机理研究

项目编号： No.51177008

项目类型： 面上项目

立项/批准年度： 2012

项目学科： 电气科学与工程学科

项目作者： 王文春

作者单位： 大连理工大学

项目金额： 67万元

中文摘要： 大气压均匀介质阻挡放电等离子体在材料加工中的应用是近年来倍受关注的一个研究热点。由于大气压介质阻挡放电不需要在真空下进行，设备投资和运行费用少，能耗低，能提供更多的活性成分和浓度，使它在材料加工、材料合成等领域具有广阔的应用前景。氮化铝（AlN）是一种重要的陶瓷材料，是大规模集成电路、半导体模块电路和大功率器件的理想封装材料和散热材料。把大气压均匀介质阻挡放电等离子体引入到球磨室内辅助高能球磨制备AlN是一个新的重要方向。本项目拟通过实验、计算机模拟、等离子体诊断和理论分析，深入研究等离子体辅助高能球磨合成AlN微观机理；确定等离子体辅助高能球磨合成AlN的稳定条件；提出可靠控制的等离子体辅助高能球磨高效率制备AlN的指导原则和技术方法；实现等离子体辅助高能球磨制备AlN的稳定运行；获取等离子体辅助球磨制备AlN的关键技术；开发适合于工业化应用的等离子体辅助高能球磨制备纳米粉末的示范样机。

中文关键词： 氮化铝；放电等离子体；高能球磨；氧化铝；氮化反应

英文摘要：

英文关键词： Aluminum nitride (AlN)；Discharge plasma；High energy ball milling；Alumina；Nitriding reaction