三维金属微纳结构的激光光镊直写研究

项目名称： 三维金属微纳结构的激光光镊直写研究

项目编号： No.61405196

项目类型： 青年科学基金项目

立项/批准年度： 2014

项目学科： 无线电电子学、电信技术

项目作者： 曹洪忠

作者单位： 重庆绿色智能技术研究院

项目金额： 25万元

中文摘要： 金属微纳结构在微纳电子学、MEMS、表面等离激元光子学、超颖材料等方面具有重要应用，因此，对于金属微纳结构的加工与制备技术、特别是三维金属微纳结构的加工与制备技术的研究，已经成为国际上所关注的一个热点研究领域。本项目基于目前三维金属微纳结构制备中存在的问题，对三维金属微纳结构的激光光镊直写展开研究。首先，在含有金属纳米颗粒的溶液中利用激光光镊直写金属纳米颗粒构筑纳米线、纳米点等金属微纳结构, 研究激光和金属纳米颗粒参数对结构加工分辨率、加工精度与形貌，组成结构的纳米颗粒形貌和纳米颗粒间的结合、熔合程度，结构性能等方面的影响，并揭示出激光光镊直写金属微纳结构的控制机理。其次，在此基础上，研究利用激光光镊直写三维金属微纳结构过程的影响因素与制备条件，实现高性能三维金属微纳结构的激光光镊直写。本项目的研究有助于进一步揭示光与金属纳米颗粒的相互作用过程，为三维金属微纳结构的直写制备提供重要方法。

中文关键词： 银微纳结构；金微纳结构；激光光镊；三维金属结构；激光直写

英文摘要： Metallic micro/nanostructures have significant applications in Micro/nanoelectronics, MEMS, surface plasmonics, metamaterials, etc. Therefore, the fabricating technologies of metallic micro/nanostructures, especially of three-dimensional (3D) metallic mic

英文关键词： Silver micro/nanostructures；Gold micro/nanostructures；Laser tweezers；Metal three-dimensional structures；Laser direct writing