常压反应性等离子体多场耦合沉积TiO2片晶三维结构薄膜动力学

项目名称： 常压反应性等离子体多场耦合沉积TiO2片晶三维结构薄膜动力学

项目编号： No.11375042

项目类型： 面上项目

立项/批准年度： 2013

项目学科： 数理科学和化学

项目作者： 张菁

作者单位： 东华大学

项目金额： 96万元

中文摘要： 片晶三维结构金属氧化物半导体薄膜在新能源、新材料、环境等领域具有重要应用价值。本项目拟在沉积具有大比例高能活性面锐钛TiO2片晶三维结构薄膜原创性结果的基础上，深入研究常压反应性等离子体多场耦合薄膜沉积动力学。通过实验和数值模拟，研究TiCl4/O2/Ar等离子体放电特性及稳定性，实时探索气相主要物理化学反应及其路径，主要活性粒子的能量、密度及聚集或成核演变过程，表面相成核、结晶、形貌演变的过程与机理；深入研究TiO2片晶三维结构薄膜结构形貌、光催化活性、荧光特性及相互关系；探索等离子体多场耦合作用参数如活性粒子特性、等离子体电场与外加温度场等对高能活性面生长及晶片连接、薄膜结构特性的影响及关键控制因素。丰富和发展常压反应性等离子体薄膜沉积理论和可控制备方法，为具有新颖结构特性的金属氧化物半导体片晶三维微纳米结构薄膜的可控制备提供一个新途径，满足能源环境等领域对低成本快速高效成膜方法的需求

中文关键词： 常压反应性等离子体；TiO2 三维片晶结构薄膜；沉积机理；动力学；可控制备

英文摘要： 3D nanosheets-connected films designed appropriately with two exposed high active facets are highly desirable for crystal surface research and technical applications in the fields of new energy, new materials and environment etc.. Based on the original ex

英文关键词： atmospheric reactive plasma；3D architectured TiO2 film；deposition mechanism；kinetics research；controllable fabrication