基于光电效应的动态可控声镊器件基础研究及其在微/纳流控领域的开发应用

项目名称： 基于光电效应的动态可控声镊器件基础研究及其在微/纳流控领域的开发应用

项目编号： No.61376124

项目类型： 面上项目

立项/批准年度： 2013

项目学科： 无线电电子学、电信技术

项目作者： 石进杰

作者单位： 北京大学

项目金额： 81万元

中文摘要： 微纳颗粒操控几乎涵盖于微流控技术尤其是微全分析系统以及芯片实验室的各个试验环节,也是其中最具挑战性的难题。本课题创新性的提出一种基于光电效应的动态可控声镊器件的设计思想和实现方法,旨在通过该器件建立一个通用的在片集成微纳颗粒操控平台,并实现一系列在生物、化学以及纳米光学领域的应用。本项目将涵盖以下关键技术流程：1）实现在压电衬底上外延生长n+-p-n双极光电晶体管；2）通过数字微镜(DMD)光投射在压电光电晶体管表面形成动态可控的虚拟叉指换能器，并通过其生成的声表面波而构成声镊；3）通过编程数字微镜光投射来实现对声镊位置、形态、工作频率的调控，实现对微纳颗粒的全操作；4）通过在片集成，利用光电声镊开发一系列多功能微流控芯片。我们将着重解决器件微/纳加工以及在片光电和超声器件集成等领域的难题。研究成果可广泛应用于涉及微纳颗粒操控的微/纳流控器件；同时也可在纳米光学和材料领域开辟新的用途。

中文关键词： 声表面波；微机电系统；驱动器；微流控；

英文摘要： Dynamic manipulation of mciro/nano particles is generally involved in every step of microfluidics, especially for micro-total-analysis-system (μTAS) and Lab-on-a-Chip (LOC). Due to the thermal effect, the Browian motion of micro/nano particles makes their

英文关键词： Surface acoustic wave；MEMS；actuator；microfluidics；