流体压缩性对微机电系统封装喷射泵点胶特性的影响机理研究

项目名称： 流体压缩性对微机电系统封装喷射泵点胶特性的影响机理研究

项目编号： No.51405397

项目类型： 青年科学基金项目

立项/批准年度： 2014

项目学科： 机械、仪表工业

项目作者： 杜润

作者单位： 西南交通大学

项目金额： 25万元

中文摘要： 封装约占微机电系统制造总成本的70%，点胶是微机电系统封装的关键技术，喷射泵是高质量、高效率微胶量封装的首选。可压缩性是流体的属性之一，会影响喷射泵点胶的动态响应、点胶量和一致性。项目以微机电系统封装喷射泵为对象，提出用可压缩流体非恒定流动理论分析喷射泵的特性，考查流体压缩性对点胶动态响应、点胶量和一致性的影响，及流体压缩性与泵喷嘴—柱塞结构的耦合关系。项目首先建立可压缩流体在泵内流动的瞬态计算模型和喷射泵的系统动力学模型，分析喷射泵的点胶动态过程，并通过试验验证计算模型，从而考查喷射泵结构参数、工况参数、流体压缩性及其它物性参数对点胶动态响应、点胶量和一致性的影响；进一步深入分析流体可压缩性和喷嘴—柱塞结构的耦合对点胶动态响应、点胶量和一致性的影响。从而获得流体可压缩性对喷射泵动态行为的影响规律, 得出喷射点胶泵设计和运行参数匹配的方法, 完善封装胶液分配的理论。

中文关键词： 微电子封装；上升时间；喷射泵；粘弹性；非牛顿流体

英文摘要： Packaging cost is about 70% of total MEMS (Micro-Electronic-Mechanical-Systems) manufacturing. Fluid dispensing is the key technology of MEMS packaging, and jet dispensers are preferred for high quality and high-speed packaging of small dots. Compressibil

英文关键词： micro-electronic packaging；rise time；jetting pump；viscoelastic；non-Newtonian fluid