基于AlxB1-xNy复合薄膜微波段SAW滤波器的构建及压电互补机理研究

项目名称： 基于AlxB1-xNy复合薄膜微波段SAW滤波器的构建及压电互补机理研究

项目编号： No.61404091

项目类型： 青年科学基金项目

立项/批准年度： 2014

项目学科： 无线电电子学、电信技术

项目作者： 王芳

作者单位： 天津理工大学

项目金额： 31万元

中文摘要： 微波段高频、高功率SAW 滤波器是物联网技术发展的急需，本申请针对如何提高器件频率和功率，提出以AlxB1-xNy 复合薄膜作为压电层，构建SAW 滤波器元件，并对相关复合薄膜的互补机理及机电耦合机制进行分析研究。首先对“IDT/(AlN/c-BN)n/Diamond/Si”多层膜体系SAW 性能理论模拟；其次基于金刚石薄膜平坦化技术，在平滑金刚石表面沉积 AlxB1-xNy 压电复合薄膜，应用原子力显微镜中的PFM 模块研究薄膜微区压电性能及压电均匀性，分析复合薄膜中AlN、c-BN 性能的互补机理；对AlxB1-xNy 薄膜平坦化，以理论模拟为指导集成制作“IDT/AlxB1-xNy/Diamond/Si”元件，研究多层膜结构中机电转化机理，优化多层膜体系，降低频散，以期提高元件机电耦合传输效率。探索高频率、高功率SAW 滤波器集成的方案，为高频器件的研制提供相关理论和工艺依据。

中文关键词： 高中心频率；声表面波滤波器；氮化硼铝；机电耦合；集成制备

英文摘要： Microwave band high-frequency, high-power SAW filter has been the urgent need of the technical development of the Internet of Things. This application is carried out for how to improve frequency and power of the device, proposing AlxB1-xNy composite film

英文关键词： High frequency；SAW filter；AlxB1-xNy；mechanical and electrical coupling；Integration Technology