三轴一体化磁力线聚集调制GMR磁传感器关键技术研究

项目名称： 三轴一体化磁力线聚集调制GMR磁传感器关键技术研究

项目编号： No.51175507

项目类型： 面上项目

立项/批准年度： 2012

项目学科： 机械、仪表工业

项目作者： 潘孟春

作者单位： 中国人民解放军国防科学技术大学

项目金额： 62万元

中文摘要： 高性能三轴磁传感器在武器装备、航空航天、资源探测等领域有着广泛的应用前景和迫切需求。GMR是研制小型化、高分辨力三轴磁传感器的理想元件，但应用中首先必须解决其1/f噪声问题，磁力线聚集调制是当前国外解决GMR应用问题的研究热点。针对现有GMR磁力线聚集调制技术中存在的调制深度不足、驱动结构稳定性较差以及组装式三轴磁传感器正交误差大等问题，本项目提出磁力线聚集垂动调制的新思路和磁变轨实现空间磁场平面化测量的新方法。主要研究：1）聚集调制技术中磁导向结构对磁力线形态的影响机制；2）空间磁场测量平面化与磁力线聚集调制一体化；3）一体化MEMS微硅驱动结构的线性和非线性动力学特性；4）基于聚集调制的三轴一体化GMR磁传感器制造工艺。本项目的研究成果将为研制高性能三轴GMR磁传感器奠定理论和技术基础。

中文关键词： 磁传感器；GMR；1/f噪声；磁场调控；三轴一体化

英文摘要：

英文关键词： magnetic sensors；GMR；1/f noise；magnetic field manipulation；tri-axial integration