微机电系统的建模、分析与操控

项目名称： 微机电系统的建模、分析与操控

项目编号： No.61374036

项目类型： 面上项目

立项/批准年度： 2013

项目学科： 自动化技术、计算机技术

项目作者： 姚智伟

作者单位： 华南理工大学

项目金额： 80万元

中文摘要： 微机电系统的成熟发展和应用要求微机电器件具备更先进的功能和更优良的性能。因此，关于微机电系统的建模和优化控制的研究尤为重要。本项目是申请人基于微机电系统领域的坚实研究基础，探索和深入理解MEMS微镜和CMUT等微机电系统内部机理特性，研究和拓展非线性控制理论在MEMS微镜和CMUT等微机电系统上的应用，给出实现提高微机电系统鲁棒性、暂态和稳态性能的非线性控制系统设计方案。本项目拟解决的关键科学问题包括MEMS微镜和CMUT系统的精确数学建模和分析,静电/电磁驱动MEMS微镜和CMUT系统的下拉动态优化研究及其非线性反馈闭环控制。研究目标是探索MEMS微镜和CMUT等微机电系统建模和非线性控制的体系化理论，探索利用非线性控制提高基于MEMS微镜和CMUT微机电系统的医学成像设备辨识精度的机理。

中文关键词： 微机电系统；微镜；超声波薄膜；非线性控制；

英文摘要： With the maturity of Microelectromechanical systems (MEMS), device modeling and optimal control is becoming increasingly important. MEMS devices are required to provide more sophisticated functions and improved performance. This project builds on the appl

英文关键词： Microelectromechanical Systems；Micromirror；CMUT；Nonlinear Control；