多光子三维金属微纳结构加工基础研究

项目名称： 多光子三维金属微纳结构加工基础研究

项目编号： No.91123032

项目类型： 重大研究计划

立项/批准年度： 2012

项目学科： 有机高分子材料学科

项目作者： 段宣明

作者单位： 中国科学院理化技术研究所

项目金额： 300万元

中文摘要： 金属微纳结构在各种微纳器件中具有十分重要的作用，其加工与制造技术，特 别是三维金属微纳结构的加工与制备，对于近红外与可见波段人工超材料、高灵敏度化学与生物传感器、高集成度光电器件、太阳能电池三维纳米电极等前沿研究及高技术应用领域具有十分重要的意义。本项目以发展多光子三维金属微纳结构加工技术为目标，通过物理、化学、材料科学等相关学科的交叉与融合，探索基于非线性光学效应- - 多光子效应的纳米尺度多光子光化学还原反应控制原理，揭示多光子三维金属微纳结构加工中表面/界面效应与纳米尺度、纳米精度加工的尺度效应之间的规律，挑战多光子超衍射金属结构纳米加工的物理与化学极限，发展具有原创性的、超越光学衍射极限的三维金属微纳结构加工新方法、新工艺与新装备原理。本项目体现了纳米制造技术发展趋势与特点，致力于纳米制造中重要科学问题的解决与工艺技术的创新，符合"纳米制造的基础研究"重大研究计划的科学目标。

中文关键词： 金属微结构；多光子还原；光镊；双光束；分辨率

英文摘要：

英文关键词： Metal structure；Multiphoton reduction；Optical tweezer；Double beam；Resolution