氧化钒纳米薄膜结构调控及非制冷红外探测器阵列关键技术研究

项目名称： 氧化钒纳米薄膜结构调控及非制冷红外探测器阵列关键技术研究

项目编号： No.61235006

项目类型： 重点项目

立项/批准年度： 2012

项目学科： 无线电电子学、电信技术

项目作者： 蒋亚东

作者单位： 电子科技大学

项目金额： 300万元

中文摘要： 本项目针对大规模、小像元、高帧频非制冷红外探测器阵列中高均匀性、高TCR、低噪声、高占空比、高红外吸收率等问题，通过建立VOx纳米薄膜微结构与TCR和噪声性能的关系模型，首次提出稀土元素掺杂的VOx薄膜微结构调控方法，研发出高均匀、高TCR、低噪声的VOx纳米薄膜制备技术；通过纳米多层膜系红外吸收机理研究，提出基于界面耦合效应设计并实现高吸收纳米多层膜；采用由新型框式结构桥腿层与桥面层构成的双层结构，以研制高占空比和低热容桥面的微桥；基于片上非均匀性校正、并行积分串行输出，设计出高均匀、低噪声读出电路；突破阵列集成制造中微桥形变和工艺兼容性等关键技术，研制出像元尺寸25μm×25μm、阵列规模640×512的非制冷红外探测器阵列，以验证相关理论，为研制大规模小像元高灵敏度高帧频非制冷红外探测器阵列奠定理论和技术基础，以解决制约我国非制冷红外探测器技术发展的瓶颈问题。

中文关键词： 氧化钒；微结构；非制冷；焦平面；红外探测器

英文摘要： Aiming to key topics on large-array, small-pixel, and high-frame-rate uncooled infrared detector arrays (UIRDAs), such as high uniformity, high Temperature Coefficient of Resistance (TCR), low noise, high fill factor, and high infrared absorbance, doping

英文关键词： vanadium oxide；microstructure；uncooled；focal plane；infrared detector