平顶激光退火制备纳米Ag基透明导电陷光结构薄膜及其太阳能电池的研究

项目名称： 平顶激光退火制备纳米Ag基透明导电陷光结构薄膜及其太阳能电池的研究

项目编号： No.61404080

项目类型： 青年科学基金项目

立项/批准年度： 2014

项目学科： 无线电电子学、电信技术

项目作者： 金晶

作者单位： 上海大学

项目金额： 24万元

中文摘要： 本项目主要采用两级蝇眼整形的Nd:YAG（波长为532nm）平顶激光退火在玻璃衬底上制备了以纳米Ag基透明导电薄膜作为硅薄膜太阳电池的前电极材料。以探索能量可控的激光热退火新生长工艺制备在可见光和红外光范围低阻高透热稳定性高的透明导电薄膜为目标，设计构建了具有纳米陷光结构的Ag基透明导电复合薄膜以及有序可调的Ag等离子体共振效应的纳米颗粒体系。通过研究纳米Ag基透明导电复合薄膜的结构、光电性能和设计以宽带隙、高电导μc-Si:H(p)/a-SiOx:H(p)为窗口层的能带渐变缓冲层结构的等离子体增强化学气相沉积工艺条件，分析了增强太阳电池光吸收和提高转换效率的硅薄膜太阳电池结构的优化设计。本研究工作为探索激光退火低温制备透明导电薄膜的工艺开拓了新思路，并为寻找适合于宽光谱高效硅基薄膜太阳电池的透明导电薄膜材料的设计和研究提供了依据，具有十分重要的研究价值。

中文关键词： Ag纳米颗粒；SiOx:H；表面等离子体共振；退火；太阳能电池

英文摘要： In this project, we proposed to prepare Ag nanoparticles integrated within transparent conducting oxide (TCO) thin films on the glass substrates by use of frequency-doubled Nd:YAG laser (λ=532nm) with a flat-top beam, which was introduced by two-stage

英文关键词： Ag nanoparticles；SiOx:H；surface plasmon resonance；annealing；solar cell