硅基混合纳米等离子光波导与器件及可调控性研究

项目名称： 硅基混合纳米等离子光波导与器件及可调控性研究

项目编号： No.11374263

项目类型： 面上项目

立项/批准年度： 2013

项目学科： 数理科学和化学

项目作者： 戴道锌

作者单位： 浙江大学

项目金额： 89万元

中文摘要： 如何获得超高集成度纳米光子器件并使之具有可调控性是光集成领域关键问题。随着光互连的发展，这个问题显得尤为紧迫。申请人提出了一种硅基混合纳米等离子米光波导，具有低损耗、小尺寸、易调控等优点，为之提供了一条有效途径。本项目拟围绕"硅基混合纳米等离子光波导与器件及可调控性研究"的主题，具体开展：（1）低损耗硅基混合纳米等离子光波导中光场局域化等物理行为效应研究；（2）硅基混合纳米等离子集成光子功能器件及其热光/电光可调控性研究；（3）硅基混合纳米等离子光波导器件制备工艺和测试表征研究。着重解决混合纳米等离子光波导损耗问题、高效率热光/电光调控问题等。研制出特征尺寸10~100nm的低损耗新型硅基混合纳米等离子光波导、尺寸为μm^2量级的超高集成度纳米光子无源器件、以及具有热光/电光调控功能的有源集成光子 器件等，为实现纳米光电子集成提供理论依据和实验基础。

中文关键词： 表面等离子体波导；硅；偏振；调制；探测

英文摘要： It is a very essential to achieve ultra-dense photonic integration circuits as well as the tunability, which is becoming more and more urgent because of the increasing demands for optical interconnects. The silicon hybrid nanoplasmonic waveguide proposed

英文关键词： plasmonics waveguide；silicon；polarization；modulation；detector