硅光子学集成用Er silicate光波导放大器应用基础研究

项目名称： 硅光子学集成用Er silicate光波导放大器应用基础研究

项目编号： No.60907024

项目类型： 青年科学基金项目

立项/批准年度： 2010

项目学科： 金属学与金属工艺

项目作者： 王兴军

作者单位： 北京大学

项目金额： 22万元

中文摘要： 采用溶胶-凝胶法制备强光致发光特性、结晶良好的Er silicate薄膜材料，优化工艺参数，提出Er silicate的生长机理，研究Er silicate固相结构、相变以及缺陷对Er3+光致发光特性的影响。利用有限元方法分析Er silicate光波导放大器内部的电磁场分布，通过速率方程和传输方程数值模拟Er silicate光波导放大器光增益与Er3+浓度、波导长度、泵浦功率和信号功率的关系，设计出最优的Er silicate光波导放大器结构。采用EBL电子束刻蚀机、FIB聚焦离子束刻蚀机和RIE反应离子刻蚀机等微加工设备，制备出Er silicate光波导放大器，优化出制备Er silicate光波导放大器的微加工工艺参数，研制出在泵浦功率30mW以下，信号功率1mW以下，满足硅光子学集成用大于10dB/1mm净增益的Er silicate光波导放大器。

中文关键词： 掺铒波导放大器；铒硅酸盐化合物；波导；光致发光；电致发光

英文摘要：

英文关键词： Er doped waveguide amplifier；Er silicate；Waveguide；Photoluminescence；Electroluminescence