周期渐变三维光子晶体的多光子制备及其光传输特性研究

项目名称： 周期渐变三维光子晶体的多光子制备及其光传输特性研究

项目编号： No.60907019

项目类型： 青年科学基金项目

立项/批准年度： 2010

项目学科： 金属学与金属工艺

项目作者： 董贤子

作者单位： 中国科学院理化技术研究所

项目金额： 22万元

中文摘要： 渐变光子晶体结构指光子晶体的晶格常数、折射率或占空比在空间按照一定规律变化的多周期复合结构。该类结构可用于实现宽带群延迟器、零像差聚焦元件、高灵敏可控的波长分束器，超高Q值选频器等光子学器件。目前渐变光子晶体结构设计及制备主要局限于一维、二维或简单的三维结构。本项目以三维结构为研究对象，通过分析周期渐变参数（如变化幅度、周期组合方式）对光子带隙宽度、等频率面的调制机理，解析周期渐变的三维光子晶体中的特殊光传输规律，建立控制光传输方向的渐变周期组合方法及理论，为设计低损耗、光传输方向可控的高性能新型光子晶体微器件提供理论基础；同时，通过综合分析实验曝光量、扫描方式、材料预处理等条件对材料加工线宽及长径比的影响及结构后处理过程中存在的变形收缩行为，建立包括结构设计与参数修正在内的高保真多光子加工精度控制体系，为近红外及可见光波段的周期渐变三维光子晶体结构的精确可控制备提供关键技术。

中文关键词： 光子晶体；渐变周期；多光子加工；分辨率；

英文摘要：

英文关键词： Photonic crystals；Gradient Period；Multiphoton microfabrication；resolution；