大相对孔径高衍射效率消像差凹面光栅的纳米压印-分区摆动刻蚀制作方法研究

项目名称： 大相对孔径高衍射效率消像差凹面光栅的纳米压印-分区摆动刻蚀制作方法研究

项目编号： No.61675197

项目类型： 面上项目

立项/批准年度： 2016

项目学科： 无线电电子学、电信技术

项目作者： 谭鑫

作者单位： 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所

项目金额： 16万元

中文摘要： 消像差凹面光栅普遍存在相对孔径小及衍射效率偏低的问题，严重制约了以其为核心元件的小型化、轻量化光谱仪器的发展，且尚无有效办法。现有技术制作的消像差凹面光栅衍射效率低于50%，相对孔径小于0.3。为减小仪器尺寸并提高信噪比，大相对孔径、高衍射效率消像差凹面光栅纳米压印-分区摆动刻蚀制备方法研究尤为必要。本项目探索利用纳米压印在凹面-凸面基底间转移消像差刻线分布实现相对孔径大于0.5凹面光栅的纳米压印复制；着重研究纳米压印过程中凸面-凹面基底顶点对准精度对消像差效果影响规律的数学模型及对准方法关键科学问题；在此基础上，制备φ45mm，曲率半径88.4mm，相对孔径0.5，闪耀角3°的消像差平场凹面光栅。

中文关键词： 凹面光栅；凸面光栅；超环面光栅；闪耀光栅；摆动刻蚀

英文摘要： The small relative aperture and low diffraction efficiency of aberration corrected concave gratings seriously restricted the development of spectrum instrument with miniaturization, light weight and high signal to noise ratio. There is no effective way to

英文关键词： concave grating；convex grating；toroidal grating；blazed grating；Oscillating etching