用于磁性微机电系统高性能Sm-Co基永磁薄膜研究

项目名称： 用于磁性微机电系统高性能Sm-Co基永磁薄膜研究

项目编号： No.50971054

项目类型： 面上项目

立项/批准年度： 2010

项目学科： 一般工业技术

项目作者： 张健

作者单位： 中国科学院宁波材料技术与工程研究所

项目金额： 39万元

中文摘要： 永磁薄膜是制备磁性微机电系统(MEMS)的关键材料，而磁性MEMS在国民经济的各个领域如汽车工业、医药等具有广泛应用前景。本项目希望通过探索高性能Sm-Co基永磁薄膜的制备方法和深入理解其磁性机理，解决其在磁性MEMS应用中的一些关键问题。深入研究成份和热处理条件、薄膜相成份和微结构、磁性能三者间的关系，制备出高磁性能和高温度稳定性的Sm-Co基薄膜，并研究其矫顽力机制。将重点探索具有胞状结构薄膜的制备方法，该结构在块体材料中起重要作用，而在永磁薄膜中还未见报道，并研究其对薄膜磁性尤其是高温磁性的影响。另外，希望通过研究缓冲层和退火条件与不同厚度薄膜磁性各向异性的关系，找到在磁性MEMS上有重要应用价值的具有垂直各向异性Sm-Co厚薄膜的新制备方法；最后,探索通过较低温度热处理(低于400摄氏度)获得高性能Sm-Co薄膜的新途径，以利其在磁性MEMS上的应用。

中文关键词： 永磁薄膜；磁性微机电系统；薄膜附着力；微结构；磁性能

英文摘要：

英文关键词： permanent magnetic films；magnetic microelectromechanica；adhension of the film；microstructure；magnetic properties