基于动态干涉图像分析的超精密静压主轴回转精度在线测试新方法研究

项目名称： 基于动态干涉图像分析的超精密静压主轴回转精度在线测试新方法研究

项目编号： No.51405114

项目类型： 青年科学基金项目

立项/批准年度： 2014

项目学科： 机械、仪表工业

项目作者： 付鹏强

作者单位： 哈尔滨理工大学

项目金额： 25万元

中文摘要： 超精密飞切加工中对加工表面波纹度等技术指标均有明确而苛刻的要求，主轴回转精度是影响其大小的重要因素。因此，提出一种基于动态干涉图像实时分析的静压主轴高精度回转精度在线测试的新方法。通过对安装在超精密主轴转子端部并随其旋转的标准测试样件表面形貌进行动态干涉测量及三维立体图像的实时分析，建立主轴运动轨迹和回转精度的求解模型，设计并搭建新型主轴在线测试系统，开发测试专用软件，针对主轴转子空运行及在线加工两种状态进行系统的实验对比研究，探寻超精密飞刀切削加工过程对主轴转子回转运动精度的影响规律。该方法及测试系统有望开辟一种原理简单、适用性广的高精度主轴回转精度测试新途径，为进一步解决加工表面纳米级表面面形精度、波纹度及粗糙度等问题提供关键的技术支撑，为当前精密超精密轴系回转精度测试及装备研制提供新的研究手段并奠定理论基础，具有十分重要的理论意义和应用价值。

中文关键词： 静压主轴；回转精度；在线检测；动态干涉图像；超精密机床

英文摘要： The surface waviness and other technical indicators are clear and stringent requirements in ultra precision fly cutting processing. The spindle rotating accuracy is an important factor which affects the size of the surface waviness. Therefore, a new

英文关键词： Static spindle；Rotating accuracy；On-line test；Dynamic interference image；Ultra precision machine tool