二氧化钒外延薄膜的相变调控及多场耦合性能研究

项目名称： 二氧化钒外延薄膜的相变调控及多场耦合性能研究

项目编号： No.51402043

项目类型： 青年科学基金项目

立项/批准年度： 2014

项目学科： 一般工业技术

项目作者： 张胤

作者单位： 电子科技大学

项目金额： 25万元

中文摘要： 由于二氧化钒薄膜的金属-绝缘体相变温度在室温附近，相变时电阻变化极大，因此具有广阔的应用前景，而研究二氧化钒的相变机理以及调控其相变性能对于实现二氧化钒薄膜的应用就尤为重要。本项目主要通过一种经济的薄膜制备方法——高分子辅助沉积法在不同基底上制备高质量的外延二氧化钒薄膜调制薄膜应力，并通过该方法掺杂具有较大电子磁矩的离子，以此增强磁场与二氧化钒薄膜的耦合效应。薄膜应力以及掺杂离子在磁场下形成有序结构都可以调控二氧化钒中的电子态从而调制其相变温度以及性能。通过系统研究磁场、热场、应力场等多场耦合下薄膜的相变特性，寻找多场耦合下二氧化钒相变的有效调控方法，进一步理解二氧化钒的相变机制，为拓展二氧化钒功能器件的应用奠定材料基础。

中文关键词： 二氧化钒薄膜；相变性能；高分子辅助沉积；应变工程；柔性传感器件

英文摘要： Vanadium dioxide thin film has wide applications due to that its metal-insulator phase transition temperature is around room temperature and the resistance of the film has a dramatic change near the transition temperature. In order to further expand the a

英文关键词： vanadium dioxide thin film；metal-insulator transition property；polymer-assisted deposition；strain engineering；flexible sensor