低相干激光差动共焦干涉元件折射率及厚度测量方法

项目名称： 低相干激光差动共焦干涉元件折射率及厚度测量方法

项目编号： No.51405020

项目类型： 青年科学基金项目

立项/批准年度： 2014

项目学科： 机械、仪表工业

项目作者： 王允

作者单位： 北京理工大学

项目金额： 25万元

中文摘要： 制造后球面元件的折射率与厚度的高精度、非接触测量仍然是国际性的测量难题，基于此，本项目提出研究元件折射率及厚度低相干激光差动共焦干涉测量新方法，其利用差动共焦技术实现对被测元件的高精度层析定焦，获得样品前后表面的光学距离，利用低相干干涉技术对样品进行层析定焦获得样品前后表面的光程差，然后通过光线追迹算法对样品的折射率、厚度和测量的光学距离、光程差进行关联并计算得到元件的折射率和厚度值。内容包括：1）低相干激光差动共焦干涉成品元件折射率和厚度测量方法；2）提高低相干干涉对比度和差动共焦层析定焦能力的方法；3）测量数据处理计算的优化方法；4）测量误差对结果的影响分析；5）实验系统构建及实验验证等。拟达到指标为：轴向定焦分辨力优于5nm；被测样品厚度<30mm；折射率测量精度5×10-4。本项目有望为元件的折射率和厚度提供一种全新的测量方法，研究内容具有重要的科学意义及应用前景。

中文关键词： 差动共焦；层析定焦；光线追迹；折射率；测量校准

英文摘要： The refractive index and thickness of finished components is difficult to achieve the convenient, accurate and non-contact measurement is an international problem, To solve the problem we proposed the low-coherence interferometry and differential confocal

英文关键词： differential confocal；chromatographic focusing；ray tracing；lens refractive index；measurement and calibration