高频、高Q值、高稳定性SAW谐振器多层膜材料研究

项目名称： 高频、高Q值、高稳定性SAW谐振器多层膜材料研究

项目编号： No.50972105

项目类型： 面上项目

立项/批准年度： 2010

项目学科： 一般工业技术

项目作者： 杨保和

作者单位： 天津理工大学

项目金额： 37万元

中文摘要： "类金刚石（DLC）/叉指电极（IDT）/c-BN/金刚石"多层膜研究，对高频、高Q值、TCF≈的SAW谐振器具有较大意义，对高灵敏度、高分辨率、高稳定性SAW传感器的研制将起到很大的促进作用；同时，对高频窄带SAW滤波器、高频时钟恢复器研制也将起到促进作用。"DLC/IDT/c-BN/金刚石"多层膜材料研究，国内外未见报道。 用弹性波场的广义Green函数和表面有效介电常数法，模拟计算"压电薄膜/金刚石"多层薄膜体系SAW性能，给出多层膜结构～瞬态压电激发产生相互耦合的电磁波和弹性波场严格分析，给出声表面波激发、传播、衍射和散射的严格分析。国内外未见报导。

中文关键词： 金刚石膜；c-BN薄膜；类金刚石；声表面波；

英文摘要：

英文关键词： Diamond film；c-BN film；Diamond-like carbon；surface acoustic wave；