硅基微纳光子器件及集成

项目名称： 硅基微纳光子器件及集成

项目编号： No.60837001

项目类型： 重点项目

立项/批准年度： 2009

项目学科： 生物科学

项目作者： 胡雄伟

作者单位： 中国科学院半导体研究所

项目金额： 200万元

中文摘要： 硅基光子器件及集成可实现真正意义上的SoC功能集成，在计算机芯片光互连和全光网通信、生物医学、传感技术和国防安全等应用中潜力巨大，是信息高技术发展的重要方向之一，为新一轮信息高技术发展的制高点。本项目将充分利用申请单位已有的工作基础，立足国内，研究SOI微纳波导结构中光的传输、干涉、衍射、耦合、光子-载流子相互作用机理；着重研究SOI基片上的亚微米和几十纳米尺寸下光波的传输、调制、滤波、分光、检测和控制；深入研究SOI微纳结构微细加工和光纤－微纳波导高效耦合等关键技术；研制出SOI微纳结构高频调制器、长波长波导型探测器、波分复用/解复用器；进而研究不同功能的光子器件集成在同一基片上的电学、光学和工艺的兼容性，试验SOI光子集成的新结构和新工艺，探索研制高频调制器与波分复用器功能集成器件；研究静态和高频动态测试技术及分析方法。本项目将为我国硅基光子学的发展提供坚实的理论基础、技术和人才贮备。

中文关键词： SOI基光子集成；高速电光调制器；阵列波导光栅；硅基锗PIN光电探测器；微波测试

英文摘要：

英文关键词： SOI-based photonic integration；High-speed EO modulator；Arrayed waveguide grating；Si-based Ge PIN photodetector；Microwave characterization