单晶石墨烯射频机械开关研究

项目名称： 单晶石墨烯射频机械开关研究

项目编号： No.51405257

项目类型： 青年科学基金项目

立项/批准年度： 2014

项目学科： 机械、仪表工业

项目作者： 李鹏

作者单位： 清华大学

项目金额： 25万元

中文摘要： 射频（Radio frequency, RF）机械开关是微机电系统（Micro-Electro-Mechanical systems，MEMS）领域中的一个重要研究方向。新材料石墨烯的出现为突破传统RF MEMS开关发展的瓶颈，实现驱动电压更小、速度更快的高性能微纳器件提供了可能性。然而目前方法得到的大面积石墨烯均为多晶结构，晶界的存在极大影响了器件的性能（例如器件极易断裂失效），成为现今影响石墨烯技术发展的一个重要障碍。本项目拟采用植入晶核的方法精确控制每片单晶石墨烯的生长位置，有效防止器件中存在晶界，得到大面积单晶石墨烯器件阵列。本项目首次将单晶石墨烯引入MEMS领域，并将其应用于射频器件，探索单晶石墨烯在RF MEMS开关中的应用，利用其卓越的材料特性进一步提升器件性能。

中文关键词： 微机电系统；石墨烯；射频开关；单晶；

英文摘要： Radio frequency (RF) mechanical switch is a very important research area of MEMS (Micro-Electro-Mechanical systems). The discovery of graphene provides an opportunity of breaking the bottleneck of the development of RF MEMS, and realizing high performance

英文关键词： MEMS；graphene；RF switch；single crystal；