用于兰州大型核物理实验谱仪的抗辐照硅微条探测器的研制

项目名称： 用于兰州大型核物理实验谱仪的抗辐照硅微条探测器的研制

项目编号： No.11175223

项目类型： 面上项目

立项/批准年度： 2012

项目学科： 数理科学和化学

项目作者： 李占奎

作者单位： 中国科学院近代物理研究所

项目金额： 95万元

中文摘要： 从上世纪八十年代起，随着硅材料的平面工艺的引入以及超大规模集成电路的应用，硅微条探测器开始广泛地应用于核物理实验中。尤其是双面硅微条探测器可提供10微米量级的空间分辨，因此世界各大物理实验室都陆续在自己的大型实验谱仪上采用硅微条探测器作为顶点探测器和径迹探测器。兰州重离子加速器国家实验室在冷却储存环建成后，用于核物理和强子物理研究的大型外靶和内靶实验谱仪也正在配套建设中，这就必然需要大量地使用硅微条探测器。近物所为此建造了自己的硅条探测器工艺实验室，用于为实验谱仪的硅微条探测器量身定做并进行性能测试及研究。硅微条探测器的抗辐射强度是作为实验谱仪必须考虑的因素，因此我们计划探索新工艺和新方法，如采用交流耦合读出、硅片高氧掺杂等方法，研制抗高辐射剂量的硅微条探测器，为建设长寿命、高性能的实验谱仪服务。

中文关键词： 硅探测器；CSR外靶终端；辐照损伤；高掺氧；AC耦合探测器

英文摘要：

英文关键词： Silicon detector；CSR external terminal；Radiation hardness；High oxygen doping；AC coupled detector