聚合物表面修饰高性能紫外光探测器的研究

项目名称： 聚合物表面修饰高性能紫外光探测器的研究

项目编号： No.61404058

项目类型： 青年科学基金项目

立项/批准年度： 2014

项目学科： 无线电电子学、电信技术

项目作者： 周敬然

作者单位： 吉林大学

项目金额： 26万元

中文摘要： 紫外光电探测器可应用于军事和民用领域。本项目采用聚合物聚乙烯亚胺PEI对TiO2纳米薄膜表面进行修饰，通过反应性很强的伯胺和仲胺与半导体薄膜表面悬挂键发生反应，减少表面态，减小表面漏电流，从而达到降低暗电流的目的。 聚乙烯亚胺的极性基团（氨基）与处理后半导体表面的羟基形成“偶极子”，降低金-半接触之后形成的肖特基势垒高度，形成大的光电流，提高响应度。同时，采用XPS和UPS对薄膜表面进行化学成分、元素信息及表面真空能级等测试，结合实验结果，对表面修饰在紫外探测器中的作用机理进行研究，进而找到更有效的提高器件性能的处理方法，争取在氧化物半导体紫外探测器的研究上取得创新与突破，制备出高性能的以TiO2纳米薄膜为敏感材料、MSM肖特基势垒结构的紫外探测器。预期通过表面修饰后器件响应度比未经修饰器件提高50倍，光暗电流比提高4个数量级以上,在5V偏压下暗电流小于1nA，响应时间小于5ms。

中文关键词： 紫外；光电探测；表面修饰；；

英文摘要： Ultraviolet detector is an important branch of modern sensor ,wide bandgap semiconductor provide a new field for the study of the UV detector. To improve the response time and the responsibility of the TiO2 nanofilm UV detector,we modified the surface of

英文关键词： ultraviolet；optoelectronic detection；surface modification；；