The continuous advancement of large language models (LLMs) has brought increasing attention to the critical issue of developing fair and reliable methods for evaluating their performance. Particularly, the emergence of subjective or non-subjective cheating phenomena, such as test set leakage and prompt format overfitting, poses significant challenges to the reliable evaluation of LLMs. Since evaluation frameworks often utilize Regular Expression (RegEx) for answer extraction, some models may adjust their responses to comply with specific formats that are easily extractable by RegEx. Nevertheless, the key answer extraction module based on RegEx frequently suffers from extraction errors. This paper conducts a comprehensive analysis of the entire LLM evaluation chain, demonstrating that optimizing the key answer extraction module can improve extraction accuracy, reduce LLMs' reliance on specific answer formats, and enhance the reliability of LLM evaluation. To address these issues, we propose xFinder, a model specifically designed for key answer extraction. As part of this process, we create a specialized dataset, the Key Answer Finder (KAF) dataset, to ensure effective model training and evaluation. Through generalization testing and evaluation in real-world scenarios, the results demonstrate that the smallest xFinder model with only 500 million parameters achieves an average answer extraction accuracy of 93.42%. In contrast, RegEx accuracy in the best evaluation framework is 74.38%. xFinder exhibits stronger robustness and higher accuracy compared to existing evaluation frameworks. All resources for xFinder are available at \url{https://github.com/IAAR-Shanghai/xFinder}.


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