氧化锌（ZnO）基多晶纳米结构微观电学性质表征及导电机理研究

项目名称： 氧化锌（ZnO）基多晶纳米结构微观电学性质表征及导电机理研究

项目编号： No.51402366

项目类型： 青年科学基金项目

立项/批准年度： 2014

项目学科： 一般工业技术

项目作者： 范冰丰

作者单位： 中山大学

项目金额： 25万元

中文摘要： 多晶纳米结构的ZnO在纳米光电子器件和纳米电子器件方面有巨大的应用价值，当前集中在透明薄膜晶体管、存储器、透明导电薄膜等这三类热门应用中。在这些器件应用中，多晶态的ZnO材料晶粒状态及晶粒边界行为严重影响ZnO材料的电学特性，而对于ZnO多晶纳米材料电学特性的了解仅是唯像模型的研究或者定性的讨论，传统的表征手段仍然无法满足现代电子器件的尺寸微型化要求，也无法满足对ZnO导电机制在亚微米或者纳米量级上的微观探寻。本项目试图采用导电原子力显微镜（CAFM）对ZnO多晶薄膜的系统研究，通过CAFM表征方式定量的获得多晶半导体薄膜材料晶粒间在导电性质上的差异，探求多晶半导体薄膜材料中晶粒状态及边界行为对导电状况的影响，研究多晶半导体晶界处载流子输运机理，构建ZnO 多晶半导体薄膜中载流子输运机制理论模型，研究ZnO材料微观导电特性对于器件工作特性的影响，从而指导ZnO 材料和器件的优化。

中文关键词： 氧化锌基多晶材料；氧化铟基多晶材料；CAFM；表征；导电机理

英文摘要： The polycrystalline ZnO nanostructures have get great value in nano-optoelectronic devices and nano-electronic devices, and currently focused on three types of popular applications of transparent thin-film transistors, memory, and the transparent conducti

英文关键词： ZnO-based polycrystalline；In2O3-based polycrystalline；CAFM；characterization；conductive mechanism