高质量氮化锌薄膜的制备及氮化锌薄膜晶体管的构建研究

项目名称： 高质量氮化锌薄膜的制备及氮化锌薄膜晶体管的构建研究

项目编号： No.51272134

项目类型： 面上项目

立项/批准年度： 2013

项目学科： 一般工业技术

项目作者： 计峰

作者单位： 山东大学

项目金额： 60万元

中文摘要： 氮化锌（Zn3N2）材料在薄膜晶体管、太阳能电池等领域都有着潜在的应用价值。本项目拟采用金属有机物化学气相沉积（MOCVD）方法进行高质量氮化锌（Zn3N2）薄膜的制备，研究Zn3N2薄膜的晶体结构性质、光电性质及其与生长条件的关系；采用MOCVD方法制备p-Si/n-Zn3N3异质结晶体管，研究其结构及光电特性；研究通过Zn3N2薄膜后氧化方法制备p-ZnO的工艺条件；进而研究分别利用MOCVD方法直接制备及Zn3N2薄膜后氧化两种方法制备p-ZnO/n-Zn3N3异质结薄膜晶体管工艺方法及条件；对Zn3N3基沟道场效应管的构建方法及其结构及光电特性进行研究。

中文关键词： 氮化锌薄膜；金属有机物化学气相沉积；反应磁控溅射；透明异质结器件；

英文摘要：

英文关键词： Zn3N2 thin films；MOCVD；Reactive magnetron sputtering；Transparent heterojunction device；