氧化物半导体超细纳米线的表面势垒调控及高性能气敏传感器研究

项目名称： 氧化物半导体超细纳米线的表面势垒调控及高性能气敏传感器研究

项目编号： No.61176067

项目类型： 面上项目

立项/批准年度： 2012

项目学科： 信息四处

项目作者： 程纲

作者单位： 河南大学

项目金额： 74万元

中文摘要： 研究直径在20纳米以下的SnO2、ZnO等氧化物超细纳米线对H2S、CO、CH4、H2、NO、NO2、NH3等微量气体的气敏特性；研究表面势垒层对超细纳米线输运特性的影响，研究气体在超细纳米线表面的吸附行为及其对表面势垒层的影响，探索在耗尽状态下超细纳米线气敏检测的微观过程与物理机制。通过光照调控氧吸附量、控温烧结调控表面结构缺陷、以及表面复合金属或半导体纳米颗粒产生局域势垒等方法，对超细纳米线的表面势垒层进行调控；在表面势垒层处于不同的组成与状态时，研究检测气体在超细纳米线表面的吸附特性、以及超细纳米线对气体吸附的电学响应特性。将氧吸附、结构缺陷、局域势垒等因素有效结合并协同作用，发展电学响应灵敏、吸附活性高的超细纳米线高性能气敏传感器。

中文关键词： 超细纳米线；氧化物半导体；表面势垒；表面态；气体传感

英文摘要：

英文关键词： ultrathin nanowire；semiconducting oxide；surface barrier；surface state；gas sensing