(TbFe2/FeCo)n/AlN磁电薄膜的磁致频移效应研究

项目名称： (TbFe2/FeCo)n/AlN磁电薄膜的磁致频移效应研究

项目编号： No.51401082

项目类型： 青年科学基金项目

立项/批准年度： 2014

项目学科： 一般工业技术

项目作者： 欧阳君

作者单位： 华中科技大学

项目金额： 25万元

中文摘要： 谐振式薄膜磁电传感器利用谐振频率随磁场而变化的特性测量磁场，不仅具有体积小，功耗、成本和复杂性低的优点，还可与现代数字系统直接通讯。但其灵敏度相对较低，需要研究提高磁致频移灵敏度的方法。目前的有效途径是提高磁致伸缩层磁弹模量随磁场的变化率。“稀土-铁合金”磁致伸缩薄膜具有很大的磁弹模量变化范围，但其饱和磁场较大，降低了磁弹模量的磁场变化率。因此，本项目拟采用界面交换耦合技术，通过在“稀土-铁合金”薄膜中插入软磁相，降低饱和磁场，以实现高灵敏度磁弹模量特性。在前期工作的基础上，本项目拟以 (TbFe2/FeCo)n为“稀土-铁合金/软磁”磁致伸缩薄膜的研究对象，揭示界面交换耦合作用对磁弹特性的影响机制。具体方法为：采用射频磁控溅射法，首先在制备的AlN压电衬底上交替溅射 (TbFe2/FeCo)n复合薄膜；接着对其进行高真空退火；通过调节溅射时间和退火温度，改变TbFe2和FeCo薄膜单层厚度、晶粒尺寸和总层数，进而调控交换耦合作用；之后考察复合薄膜磁弹特性的相应变化；最后将实验结果与微磁学计算结果进行比较。研究成果对实现高灵敏度谐振式薄膜磁电传感器具有重要指导作用。

中文关键词： 磁电薄膜；磁致频移；磁弹模量；交换耦合；

英文摘要： Resonant thin-film magnetoelectric sensor uses the characteristic of resonance frequency varying with magnetic field to measure it. It has the advantage of small size, low power consumption, cost and complexity. It can communicate directly with the digita

英文关键词： Magnetoelectric films；Magneto frequency shift；Magnetoelastic modulus；Exchange coupling；