超弹性微米氮化硅陶瓷弹簧的制备、变形机理及应用的研究

项目名称： 超弹性微米氮化硅陶瓷弹簧的制备、变形机理及应用的研究

项目编号： No.50972017

项目类型： 面上项目

立项/批准年度： 2010

项目学科： 一般工业技术

项目作者： 曹传宝

作者单位： 北京理工大学

项目金额： 38万元

中文摘要： 制备出具有弹性的陶瓷一直是陶瓷研究者的梦想。本项目以氮化硅陶瓷为研究对象，在前期制备出的具有超弹性氮化硅弹簧的基础上，以化学气相沉积的方法优化反应条件制备出弹簧状的氮化硅陶瓷，研究弹簧状氮化硅陶瓷的形成机理。研究氮化硅陶瓷的力学性能，确保制备出的氮化硅陶瓷弹簧具有弹性和超弹性，以CCD单晶结构测量的方法研究不同拉伸状态下陶瓷的微观结构变化，以拉伸前后原子位置的变化为模型提出氮化硅陶瓷超弹性的机理。以氮化硅陶瓷弹簧为模板进一步制备复合多层结构，研究其在MEMS、微传感等领域的应用。

中文关键词： 氮化硅；陶瓷弹簧；超弹性；生长机理；变形机理

英文摘要：

英文关键词： Silicon nitride；ceramic spring；superelastic；growth mechanism；deform mechanism