核/壳微结构氮化硅陶瓷线圈超弹性动力学理论与实验研究

项目名称： 核/壳微结构氮化硅陶瓷线圈超弹性动力学理论与实验研究

项目编号： No.51402142

项目类型： 青年科学基金项目

立项/批准年度： 2014

项目学科： 一般工业技术

项目作者： 卢学峰

作者单位： 兰州理工大学

项目金额： 25万元

中文摘要： 随着微电子行业的飞速发展，基础器件的特征尺寸在不断缩小，而传统脆性陶瓷不能满足其使用要求，成为制约该技术发展的瓶颈，寻求超弹性陶瓷是解决此问题的有效途径之一。基于此，本项目通过理论与实验相结合的方法对核/壳微结构氮化硅陶瓷线圈的超弹性进行基础科学研究。理论计算与分析微结构中核、壳两部分的特征尺寸和界面结合态及其对线圈超弹性行为的影响规律，研究完全和部分加载循环下不同超弹性行为特征与差异，建立合理的弹性势能表达式和超弹性动力学理论模型；实验研究核/壳微结构氮化硅线圈超弹性，并对理论研究中提出的弹性势能表达式和超弹性动力学理论模型进行验证和修正，在对各种影响因素及相关性理论总结的基础上建立准确的核/壳微结构氮化硅陶瓷超弹性动力学理论及定量预测模型。本项目旨在澄清核/壳微结构氮化硅陶瓷超弹性成因及力学行为机制，为制备超弹性陶瓷及研制出新一代微电子基础器件奠定理论和技术基础。

中文关键词： 氮化硅；超弹性；分子动力学；第一性原理；

英文摘要： With the rapid development of the microelectronics industry, the feature size of basic device is becoming smaller. The brittleness of traditional ceramics can not meet the operating requirement and this is the greatest drawback in making the ceramics avai

英文关键词： silicon nitride；superelastic；molecular dynamics；first principles；