基于透明导电氧化物的表面等离激元电光调制技术研究

项目名称： 基于透明导电氧化物的表面等离激元电光调制技术研究

项目编号： No.61405235

项目类型： 青年科学基金项目

立项/批准年度： 2014

项目学科： 无线电电子学、电信技术

项目作者： 靳琳

作者单位： 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所

项目金额： 25万元

中文摘要： 光互联是满足日益增长的信息传输与处理要求的重要途径之一，高集成度、低功耗和大调制深度的电光调制器是光互联的核心器件。本项目提出研究基于透明导电氧化物的表面等离激元(SPP)硅基光波导调制器。利用金属纳米光波导结构中SPP模式的高局域性和透明导电氧化物通过电调控其载流子分布可实现介电常数大幅改变的特点，构建金属纳米光波导与透明导电氧化物的复合光波导结构，实现高局域光模场与载流子积累层的强耦合，获得低偏压下的高效光传输调制。我们将研究SPP模式高局域和低损耗的光传输行为；研制高质量的透明导电氧化物薄膜并分析其电调制特性；针对不同复合结构对光波导模式有效折射率实部与虚部的调制效应，分别研究模式干涉型、相位型和电吸收型电光调制器件物理；针对SPP模式的单偏振选择性问题，研究偏振无关的SPP电光调制技术。并实验研制一种低功耗大调制深度的纳米光波导调制器。本项目成果对实现光互联和光子集成具有推动作用。

中文关键词： 表面等离激元；电光调制；透明导电氧化物；光波导；

英文摘要： Optical interconnect is one of the important solutions meeting the increasing demand of data communication and processing. The ultracompact electro-optic modulator with low power consumption and large modulation depth is a key component of the optical int

英文关键词： Surface plasmon polaritons；Electro-optic modulation；Transparent conducting oxideson；Optical waveguide；