高性能悬空氮化物薄膜LED器件的基础研究

项目名称： 高性能悬空氮化物薄膜LED器件的基础研究

项目编号： No.61401233

项目类型： 青年科学基金项目

立项/批准年度： 2014

项目学科： 无线电电子学、电信技术

项目作者： 李欣

作者单位： 南京邮电大学

项目金额： 25万元

中文摘要： 本课题面向新型光电子器件和可见光无线通信领域的重大需求，基于硅衬底氮化物材料体系,开展高性能悬空氮化物薄膜LED器件基础研究。硅衬底氮化物LED器件能产生覆盖紫外至红外波段的光，且在大尺寸晶片上具有明显成本优势。然而硅衬底和氮化物外延层对LED器件出射光吸收大，影响器件光学性能。硅衬底和外延层也会增大器件结电容和等效电阻，限制LED器件调制带宽，阻碍其在可见光通信领域的应用。针对上述问题，本课题重点发展硅衬底剥离和悬空氮化物薄膜背后减薄技术，获得具有低驱动电压、高出光效率、高响应速度、高调制带宽的悬空氮化物薄膜LED器件。在此基础上将氮化物微驱动器与LED器件集成获得微机电可调LED光源，操纵出射光方向；探索将光子器件与LED器件集成，利用光子器件与出射光的交互作用，对其半高宽、频率响应特性和传输形式进行调控，获得可调可控的集成LED光学系统，拓展其在照明显示，特别是可见光通信领域的应用。

中文关键词： 硅衬底氮化物；LED器件；可见光通信；光子器件；

英文摘要： This project meets the significant demand in the fields of novel optoelectronic devices and visible light communications. The basic research of freestanding nitride film LED device with high performance is carried out on the basis of nitride materials on

英文关键词： nitride on silicon substrate；LED device；visible light communications；optical device；