高效率电子源无放电激发气体发光机理及器件制备研究

项目名称： 高效率电子源无放电激发气体发光机理及器件制备研究

项目编号： No.61372018

项目类型： 面上项目

立项/批准年度： 2013

项目学科： 无线电电子学、电信技术

项目作者： 张小宁

作者单位： 西安交通大学

项目金额： 80万元

中文摘要： 新型显示技术是我国信息产业发展的重要支柱，基于电子无放电激发气体发光可以获得一种新型发光显示技术，能在气体中发射电子的高效率电子源和电子激发气体发光机理是这一新型显示技术亟需解决的重要科学问题。本项目将开展高效率电子源、电子无放电激发气体发光及器件制备的基础研究。通过研究多孔硅电子源的脉冲多层腐蚀和新型复合氧化方法，以及不同工艺时的电子发射特性，获得能在气体中发射电子的高效率电子源关键工艺；研究电子发射的负阻效应、电子的能量分布，以及电子激发气体发光的机理，获得高效率电子源的控制方法和气体受激高效率辐射真空紫外的方法；研究基于电子无放电激发气体发光器件的关键工艺和器件特性，获得一种高效率的新型显示技术。本项目对推动高效率新型发光显示技术的发展，传统真空电子器件性能和功能的变革，以及电子源在半导体电子束蚀刻和微光图像传感器等领域的应用，具有重要的科学意义和应用价值。

中文关键词： 真空电子学；电子源；气体无放电激发；多孔硅；

英文摘要： The novel display technology play an important role for development of information industry in China. We can obtain a novel display technology based on gas radiation excited by electron with discharge free. For the novel display technology, the top scient

英文关键词： Vacuum Elctronics；Electron Source；Gas Radiation without Discharge；Porous Silicon；