碳纳米管探针的制备及其结构优化的关键技术研究

项目名称： 碳纳米管探针的制备及其结构优化的关键技术研究

项目编号： No.50905126

项目类型： 青年科学基金项目

立项/批准年度： 2010

项目学科： 金属学与金属工艺

项目作者： 徐宗伟

作者单位： 天津大学

项目金额： 20万元

中文摘要： 原子力显微镜(Atomic Force Microscope, AFM)碳纳米管探针在纳米表征等领域已显示出其独特的优势，而碳纳米管探针的长度和角度等关键参数的精确控制是目前该领域亟待解决的科学问题。本项目提出基于束流诱导Pt沉积制备纳米管探针，基于聚焦离子束(电子束)技术对纳米管探针的长度、角度和刚度等参数精确控制和优化研究，实现长度小于500纳米、角度控制精度优于1 的纳米管探针制备。阐明聚焦离子束调控纳米管探针角度的微观作用机理。解决碳纳米管探针在对大深宽比陡峭结构表征中，能够高分辨率且稳定表征的关键技术难题。深入研究纳米管探针的不同参数{横向弹性系数（长径比）、角度、末端结构及工作振幅等}对其成像分辨率影响，研究提高探针分辨率的有效途径，建立碳纳米管探针测量性能的评价体系和指标。本课题探索从根本上解决制约碳纳米管原子力显微镜探针应用的关键难题，为拓展AFM应用领域开辟新的有效途径。

中文关键词： 碳纳米管；原子力显微镜；探针；聚焦离子束；纳米计量

英文摘要：

英文关键词： Carbon nanotube；Atomic force microscope；Probe；Focused ion beam；Nanometrology