两镜、三镜激光器腔调谐纳米测尺仪器化

项目名称： 两镜、三镜激光器腔调谐纳米测尺仪器化

项目编号： No.60827006

项目类型： 专项基金项目

立项/批准年度： 2009

项目学科： 轻工业、手工业

项目作者： 李岩

作者单位： 清华大学

项目金额： 120万元

中文摘要： 在NSFC资助下，已取得成绩：①#21457;表"纳米条纹的发现"（OC, 273, P226 ,2007）论文和②#30740;究成功"正交偏振竞争0.633μ#27874;长纳米测尺"，原理独特占有一席之地。本申请基于①#28608;光回馈产生的纳米宽光学条纹研究成亚纳米分辨率百微米范围的三镜激光器纳米测尺，借助1.152μ#27874;长窄光谱线宽（约为0.633μ#27874;长的1/2），仪器化②#25104;纳米级分辨率百mm范围的两镜激光器纳米测尺。还采用激光频率分裂，半波长偏振分区，猫眼反射腔镜，条纹细分，偏振跳变判向，光强浮动阈值等创新技术，实现仪器化。因由激光器腔调谐（一个腔镜移动）实施测位移，激光器本身即是测位移仪器，体积小、低成本易推广，更有自校准能力。三镜激光器纳米测尺适于检测高精度微动台，PZT,各种扫描显微镜等科学仪器部件的位移。两镜腔纳米测尺则适合于各大位移工作台位移测控，高精度块规检定等。结题时提供两类各两台，供国内外应用和展示。

中文关键词： 纳米测量；激光谐振腔；腔调谐；光回馈

英文摘要：

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