项目名称: 超薄梯度Zr/ZrN自形成扩散阻挡层特性研究

项目编号: No.50871083

项目类型: 面上项目

立项/批准年度: 2009

项目学科: 建筑科学

项目作者: 宋忠孝

作者单位: 西安交通大学

项目金额: 34万元

中文摘要: 随着互连导线特征尺寸小于45nm,要求扩散阻挡层厚度低于3nm,目前常用的PVD技术已经不能满足需要,超薄高性能扩散阻挡层已经成为影响Cu互连使用可靠性的难点问题。本项目利用与Cu互连生产工序兼容的PVD技术沉积含氮的Cu(Zr)合金膜,通过退火形成超薄梯度Zr/ZrN自形成扩散阻挡层,改善Cu互连的可靠性。本项目首次提出应用高分辨透射电镜实时观察梯度自形成扩散阻挡层的形成和失效过程,结合梯度成分和显微结构的变化以及I-V测试结果研究该类扩散阻挡层的失效机理。本项目研究方法创新,研究结果具有较强的科学意义和工业应用价值。

中文关键词: 自形成;梯度;扩散阻挡层;

英文摘要: As development of 45 nm logic technology, the thickness of Cu diffusion barriers is required to be under 3 nm. PVD, which has been widely applied in integrated circuit technology, could not meet the compatible requirement of Cu interconnect correspondingly. In this case, ultra-thin Cu diffusion barriers become a big challenge for Cu interconnect stability. In this study, Cu(Zr) metallic layer was deposited by PVC methods, and untrl-thin gradient Zr/ZrN seif-assemble diffusion barriers were obtained by annealing Cu(Zr)/ZrN bilayer system in N2/H2 atmosphere. We observed the formation and degradation process of gradient self-assemble diffusion barriers by HRTEM, clarifying the degradation mechanism from a perspective of gradient components, microstructure and I-V properties relationships. This novel kind of diffusion barriers improve Cu interconnect stability effectively, providing advisable theoretical supporting as well as application model in industry.

英文关键词: Self-assemble; Gradiation; Diffusion Barriers;

成为VIP会员查看完整内容
0

相关内容

梯度的本意是一个向量(矢量),表示某一函数在该点处的方向导数沿着该方向取得最大值,即函数在该点处沿着该方向(此梯度的方向)变化最快,变化率最大(为该梯度的模)。
CVPR2022 | Sparse Transformer刷新点云目标检测的SOTA
专知会员服务
24+阅读 · 2022年3月9日
【AAAI2022】 负样本问题:时间基础度量学习的复兴
专知会员服务
20+阅读 · 2021年12月26日
专知会员服务
21+阅读 · 2021年8月23日
专知会员服务
40+阅读 · 2021年6月2日
专知会员服务
31+阅读 · 2021年5月7日
专知会员服务
27+阅读 · 2021年3月17日
专知会员服务
117+阅读 · 2020年12月9日
模型优化基础,Sayak Paul,67页ppt
专知会员服务
75+阅读 · 2020年6月8日
【CVPR 2020-商汤】8比特数值也能训练卷积神经网络模型
专知会员服务
25+阅读 · 2020年5月7日
我的信号是由核辐射传输的,金属屏蔽都挡不住
机器之心
0+阅读 · 2021年11月24日
看完100个新消费品后,我总结了3种创新公式
人人都是产品经理
0+阅读 · 2021年11月18日
这期Nature封面「雪崩」了!
新智元
0+阅读 · 2021年1月16日
读扩散?写扩散?推拉架构一文搞定!
架构师之路
16+阅读 · 2019年2月1日
国家自然科学基金
0+阅读 · 2015年12月31日
国家自然科学基金
0+阅读 · 2015年12月31日
国家自然科学基金
1+阅读 · 2013年12月31日
国家自然科学基金
0+阅读 · 2013年12月31日
国家自然科学基金
0+阅读 · 2013年12月31日
国家自然科学基金
0+阅读 · 2013年12月31日
国家自然科学基金
0+阅读 · 2011年12月31日
Arxiv
0+阅读 · 2022年4月17日
Arxiv
0+阅读 · 2022年4月17日
Arxiv
54+阅读 · 2022年1月1日
A Modern Introduction to Online Learning
Arxiv
20+阅读 · 2019年12月31日
Arxiv
15+阅读 · 2019年6月25日
Arxiv
12+阅读 · 2019年4月9日
小贴士
相关VIP内容
CVPR2022 | Sparse Transformer刷新点云目标检测的SOTA
专知会员服务
24+阅读 · 2022年3月9日
【AAAI2022】 负样本问题:时间基础度量学习的复兴
专知会员服务
20+阅读 · 2021年12月26日
专知会员服务
21+阅读 · 2021年8月23日
专知会员服务
40+阅读 · 2021年6月2日
专知会员服务
31+阅读 · 2021年5月7日
专知会员服务
27+阅读 · 2021年3月17日
专知会员服务
117+阅读 · 2020年12月9日
模型优化基础,Sayak Paul,67页ppt
专知会员服务
75+阅读 · 2020年6月8日
【CVPR 2020-商汤】8比特数值也能训练卷积神经网络模型
专知会员服务
25+阅读 · 2020年5月7日
相关基金
国家自然科学基金
0+阅读 · 2015年12月31日
国家自然科学基金
0+阅读 · 2015年12月31日
国家自然科学基金
1+阅读 · 2013年12月31日
国家自然科学基金
0+阅读 · 2013年12月31日
国家自然科学基金
0+阅读 · 2013年12月31日
国家自然科学基金
0+阅读 · 2013年12月31日
国家自然科学基金
0+阅读 · 2011年12月31日
微信扫码咨询专知VIP会员