大尺寸靶材用ITO纳米粉体的制备、堆积行为与烧结性能研究

项目名称： 大尺寸靶材用ITO纳米粉体的制备、堆积行为与烧结性能研究

项目编号： No.21176051

项目类型： 面上项目

立项/批准年度： 2012

项目学科： 化学工程及工业化学

项目作者： 徐华蕊

作者单位： 桂林电子科技大学

项目金额： 60万元

中文摘要： 随着平板显示的快速发展，大尺寸、高密度、高纯度是氧化铟锡（ITO）靶材的发展方向。本项目系统研究粒径可控且分布窄的单分散ITO纳米粉体的低压尿素水热制备过程，不同粒径、形貌纳米粉体的堆积行为以及大尺寸（>500*500*6mm）高密度靶材烧结过程。重点对水热制备不同粒径、形貌的ITO粉体原理进行研究，并从微观的单个粉体内部以及粉体间作用力出发，应用分子动力学－离散颗粒模拟－线性堆积模型方法对纳米粉体的堆积过程进行模拟，结合文献纳米粉体烧结模型，与大尺寸高密度靶材烧结实验结果进行验证，从而预测出适合烧结制备大尺寸高密度靶材的粉体堆积方式。本项目将为大尺寸高致密纳米陶瓷的设计、制备等研究提供理论和实验数据，同时这些结果还可以应用于其他纳米粉体体系。

中文关键词： ITO纳米粉体；水热；堆积；烧结；大尺寸

英文摘要：

英文关键词： ITO nano powder；Hydrothermal；cumulation；Sintering；large dimension