单根精度纳米线的高柔性与大规模操控技术研究

项目名称： 单根精度纳米线的高柔性与大规模操控技术研究

项目编号： No.51375089

项目类型： 面上项目

立项/批准年度： 2013

项目学科： 机械、仪表工业

项目作者： 倪中华

作者单位： 东南大学

项目金额： 90万元

中文摘要： 基于申请者前期在应用光诱导介电泳技术实现微纳米粒子低成本、高通量操纵的研究成果和工作基础，开展面向纳米线的精确操纵和柔性组装的基础理论、实验分析和系统集成研究，从而建立一套同时满足单根精确操纵和多根批量组装的高柔性纳米线精确操控系统平台，使纳米尺度制造中的组装技术研究获得跨越式发展。主要研究内容涉及：从分析影响纳米线操控的多种物理场耦合作用入手，进行纳米线在复合式介电泳作用下响应机理的研究，并对纳米线操控过程进行动力学建模和计算仿真。在此基础上，进行纳米线操控平台的核心部件- -精确操控芯片的设计制造，涉及虚拟电极阵列和实体电极阵列的版图设计、光电导层、微流体通道的选材及其制作工艺研究。最后，组合光虚拟电极直写子系统、实时监控子系统、激励信号控制子系统、微流体控制子系统和计算中心，构成整个纳米线高柔性精确操控系统平台。

中文关键词： 介电泳；纳米线操控机理；点阵电极；制备工艺；光致电渗流

英文摘要： Based on previous research work for low-cost and high-throughput manipulation of micro/nano particles by light-induced dielectrophoresis, applicants will conduct research on basic theory, experimental analysis and system integration of massively parallel

英文关键词： dielectrophoresis；nanowire manipulation mechanism；dot matrix electrodes；fabrication technology；light-induced electroosmosis