ECR纳米表面的极端制造原理与方法研究

项目名称： ECR纳米表面的极端制造原理与方法研究

项目编号： No.90923027

项目类型： 专项基金项目

立项/批准年度： 2010

项目学科： 机械、仪表工业

项目作者： 刁东风

作者单位： 西安交通大学

项目金额： 50万元

中文摘要： 针对ECR（电子回旋共振）纳米表面的极端制造技术基础这一科学问题，围绕纳米表面的基本组成："纳米表面结构"、"纳米表面形貌"、"纳米表面纹理"三种纳米尺度的制造原理及方法开展研究。采用ECR等离子体的刻蚀/生长与电子/离子照射及元素掺杂结构耦合的方法实施纳米表面的结构、形貌和纹理的加工制造，通过透射电镜纳米表面结构观察、扫描探针显微镜纳米表面形貌与纹理测量的技术路线，揭示在ECR等离子体加工制造过程中纳米表面的结构、形貌和纹理的形成原理与控制方法，阐明ECR等离子体的电子/离子照射能与元素掺杂在纳米表面制造中的关键作用，建立在0.34nm尺度上的单分子层纳米表面结构、0.1nm尺度上的超光滑纳米表面形貌和5nm尺度上的纳米表面纹理的极端制造理论基础及方法。研究成果可广泛应用于固体表面的纳米结构-形貌-纹理加工制造，对推动和促进纳米极端加工制造基础及工艺与装备的体系化、实用化具有重要意义。

中文关键词： ECR等离子体；电子/离子照射；纳米结构；纳米形貌；极端制造

英文摘要：

英文关键词： ECR plasma；electron/ion irradiation；Nanostructure；Nanotopography；Extreme manufacturing