光栅剪切干涉Zernike模式法重建精度优化方法研究

项目名称： 光栅剪切干涉Zernike模式法重建精度优化方法研究

项目编号： No.61405210

项目类型： 青年科学基金项目

立项/批准年度： 2014

项目学科： 无线电电子学、电信技术

项目作者： 戴凤钊

作者单位： 中国科学院上海光学精密机械研究所

项目金额： 25万元

中文摘要： 光栅横向剪切干涉作为一种典型的波前测量技术，由于其具有精度高、不需要参考面、对振动不敏感、测量动态范围大等优点，在光学系统波像差测量、非球面和自由曲面面形检测、自适应光学系统中波前畸变探测、眼科学等领域得到了广泛的应用。横向剪切干涉测量的是待测波前在剪切方向的差分，而非待测波前自身，需要进行波前重建。波前重建是横向剪切干涉实现高精度波前测量的关键和难点。基于Zernike多项式的模式法是剪切干涉波前测量中最常用的重建方法。残余高阶项对低阶项的耦合以及光栅剪切导致的剪切率非常数问题是光栅剪切干涉Zernike模式法重建的主要误差因素。本项目针对以上问题，开展Zernike模式法重建精度优化方法研究。通过系数解耦和低通滤波技术降低耦合误差，通过设计非常数剪切率Zernike模式法补偿剪切率的变化，从而实现重建精度优化。

中文关键词： 剪切干涉；波前重建；光栅；模式法；Zernike多项式

英文摘要： Grating lateral shearing interferometry is a typical wavefront metrology technic, it has been widely applied in many fields, such as optical system aberration metrology, aspheric and free-form surfaces testing, wavefront distortion detection in adaptive o

英文关键词： shearing interferometry；wavefront reconstruction；grating；modal reconstruction；Zernike polynomials