高功率窄线宽二阶金属光栅表面发射分布反馈半导体激光器研究

项目名称： 高功率窄线宽二阶金属光栅表面发射分布反馈半导体激光器研究

项目编号： No.61176045

项目类型： 面上项目

立项/批准年度： 2012

项目学科： 信息四处

项目作者： 王立军

作者单位： 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所

项目金额： 74万元

中文摘要： 研究自主创新的二阶光栅耦合表面发射分布反馈半导体激光器及其列阵，满足我国激光加工、激光显示、激光雷达等应用领域中对于窄线宽、近衍射极限的高功率半导体激光器的迫切需求，具有重要意义。我们提出基于二阶光栅表面发射分布反馈（SE-DFB）结构实现高光束质量、高光谱特性的半导体激光器的新方案。建立二阶金属光栅SE-DFB激光器的理论分析模型并优化二阶金属光栅的设计参数及线型的选取，研究提高SE-DFB激光器性能的理论机理和器件生长工艺，优化设计SE-DFB激光器的结构并研制高功率的单管和阵列。研究全息光刻和干法刻蚀技术实现二阶金属光栅制备的关键工艺，探讨光栅制作精度和质量对激光器性能的影响；采用曲面波前和参考平面波前的全息干涉技术，实现在GaAs材料上制作复杂线型光栅的突破。完善建立的理论分析模型，结合外延材料优化生长工艺，为获得自主知识产权的SE-DFB激光器打下理论和技术基础。

中文关键词： 高功率；半导体激光器；二阶光栅；分布反馈；

英文摘要：

英文关键词： high power；semiconductor laser；second order grating；distribute feedback；