项目名称: 折/衍混合成像元件的飞秒激光超精细加工技术及应用研究

项目编号: No.61137001

项目类型: 重点项目

立项/批准年度: 2012

项目学科: 无线电电子学、电信技术

项目作者: 陈岐岱

作者单位: 吉林大学

项目金额: 290万元

中文摘要: 折/衍混合成像元件是实现空间光学系统小型化、轻量化和性能提升的关键部件,但蓝宝石和玻璃等紫外和可见波段光学材料难以用金刚石单点车削等现有技术加工。为解决这一问题,本项目以曲面基底、小特征尺寸折/衍混合空间光学成像系统透镜为目标,提出基于飞秒激光超精细加工技术的一系列创新解决方案:具体通过飞秒激光与材料相互作用的动态调控,获得对透明硬质材料加工的纳米加工分辨率;研究高速回转扫描、高精度三维模板制备与转写和壳层扫描等新原理技术,实现高精度、高效率加工前提下器件尺寸从百微米向厘米尺寸的跨越。通过以上工作,实现直径50mm、面形精度 <100 nm紫外-可见波段工作的折/衍混合透镜。解决长期制约飞秒激光超精细加工技术走向工业应用面临的效率和精度的矛盾,为其作为一种通用平台技术在基础研究、工业和国防高技术等领域获得广泛应用奠定基础,为我国高分辨空间光学系统的跨越发展做出贡献。

中文关键词: 飞秒激光;折衍混合;微光学元件;激光加工;成像系统

英文摘要:

英文关键词: femtosecond laser;Reflective Diffractive Hybrid;Micro optics;laser machine;image system

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