基于阻挡层结构外延材料的InGaAs探测器的可见-短波红外光谱拓展方法研究

项目名称： 基于阻挡层结构外延材料的InGaAs探测器的可见-短波红外光谱拓展方法研究

项目编号： No.61376052

项目类型： 面上项目

立项/批准年度： 2013

项目学科： 无线电电子学、电信技术

项目作者： 邵秀梅

作者单位： 中国科学院上海技术物理研究所

项目金额： 82万元

中文摘要： In组分为0.53的InGaAs外延材料可与InP衬底完全晶格匹配，能实现性能优良的室温探测器，响应波段0.9-1.7μm。夜天光的能量主要集中在可见-短波红外波段，该波段的微光成像在民用安全和国防领域具有重要意义。国际上，InGaAs探测器的一个重要发展方向是向可见波段拓展，将可见-短波红外集成到一个器件，简化微光成像系统。由于该探测器的应用涉及敏感领域，国外相关研究方法、技术对中国严格禁运，国内尚未见相关研究报道。本项目针对微光成像的光谱范围和低照度特点，提出研究低暗电流的向可见拓展的InGaAs探测器，在具有阻挡层结构的外延材料、低损伤衬底剥离方法、多层增透膜设计及其与探测器片上耦合光谱特性等方面开展研究，建立可见-短波红外宽波段响应的InGaAs探测器的结构设计与工艺新方法，明确暗电流机制并进一步降低器件暗电流。本项目将为实现我国微光成像核心光电器件的自主研发和技术创新奠定基础。

中文关键词： 铟镓砷；焦平面；可见-短波红外；量子效率；光谱拓展

英文摘要： The lattice of ternary alloy InxGa1-xAs can match with that of InP substrate perfectly, when the x of In component is 0.53. The spectral response of detectors based on In0.53Ga0.47As is from 0.9μm to 1.7μm,which work at room temperature with high perform

英文关键词： InGaAs；focal plane array (FPA)；visible-SWIR；quantum efficiency (QE)；spectral extension