基于硅基薄膜太阳电池沉积过程中的瞬态与稳态等离子体空间反应机理研究

项目名称： 基于硅基薄膜太阳电池沉积过程中的瞬态与稳态等离子体空间反应机理研究

项目编号： No.60976051

项目类型： 面上项目

立项/批准年度： 2010

项目学科： 自动化技术、计算机技术

项目作者： 张晓丹

作者单位： 南开大学

项目金额： 38万元

中文摘要： 本项目旨在对硅基薄膜太阳电池沉积过程中的低温等离子体进行在线综合诊断研究，同时结合制备材料和电池的性能，获得等离子体辉光的瞬态变化过程和微扰下稳定辉光的变化规律，使得我们能够有效控制硅薄膜太阳电池的效率和生长过程中的工艺稳定性。此项目的创新性在于：运用电压/电流探针（MKS,适合高频）、朗谬尔探针（Hiden Epsion）、四极质谱(可变电子能量测试)和光发射谱（含时间和空间分辨），进行全方位的瞬态和稳态等离子体空间反应的测试分析研究,揭示薄膜宏观沉积参数（气压、功率等）、等离子体宏观电学参数（电抗、容抗等）、等离子体特性（电子温度与密度以及中性基团的密度等）与薄膜材料（晶化率、缺陷态密度等）和电池特性之间的内在关系。该项目的研究不仅使我们对硅薄膜太阳电池沉积中等离子体微观机制有更深入的认识，有助于提高硅薄膜和电池性能，而且对促进硅基薄膜电池产业技术进步和可持续发展，具有深远意义。

中文关键词： 低温等离子体；薄膜太阳电池；在线诊断；微晶硅；透明导电薄膜

英文摘要：

英文关键词： cold plasma；thin film solar cell；in-situ diagnostics；microcrystalline silicon；transparent conductive film